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晶圓測試有哪機(jī)種方法?

所屬類別:2019-10-18 閱讀:2074次
半導(dǎo)體材料檢測加工工藝歸屬于半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈的重要行業(yè),半導(dǎo)體材料檢測包含CP檢測,CP檢測也稱圓晶檢測,是集成電路工藝后道封裝檢測的首先,目地是將圓晶中的欠佳集成ic選擇出去。無錫市星杰檢測有限責(zé)任公司主要是針對半導(dǎo)體材料集成電路芯片檢測代工生產(chǎn)服務(wù)項(xiàng)目,企業(yè)現(xiàn)階段有著200M2潔凈間,配置數(shù)十套檢測系統(tǒng)軟件和UF200系列產(chǎn)品探針臺(tái)。企業(yè)技術(shù)性精英團(tuán)隊(duì)在半導(dǎo)體材料檢測行業(yè)內(nèi)有著10年左右的豐富多彩工作經(jīng)驗(yàn),對集成電路芯片及其MEMS常有非常好的了解及其工程項(xiàng)目開發(fā)設(shè)計(jì)工作能力。

一般情況下在圓晶測試步驟中,就必須對上述集成ic開展極性檢測,以保證在封裝以前,圓晶上的集成ic是及格商品,因而圓晶檢測是提升集成電路工藝合格率的關(guān)鍵因素其一?墒悄壳暗膱A晶測試機(jī)不平穩(wěn),錯(cuò)判率高,因此圓晶檢測可靠性難題始終是困惑晶圓廠生產(chǎn)制造的基本矛盾難題其一,假如將不精確的數(shù)據(jù)測試出示顧客,最后會(huì)給集成ic制作者產(chǎn)生信譽(yù)度和財(cái)產(chǎn)損失,因此商品的檢測可靠性難題急需解決。
 
在檢測時(shí),圓晶被固定不動(dòng)在真空泵吸附力的液壓卡盤上,并與太薄的電極電測器指向,另外電極與集成ic的每1個(gè)電焊焊接墊相觸碰。電測器在開關(guān)電源的驅(qū)動(dòng)器下檢測電源電路并紀(jì)錄下結(jié)果。檢測的總數(shù)、次序和種類由電子計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制。測試機(jī)是自動(dòng)化技術(shù)的,因此在電極電測器與第一片圓晶指向后,人工服務(wù)指向或應(yīng)用全自動(dòng)視覺識(shí)別系統(tǒng)的檢測工作中不必操作工的輔助。檢測是以便下列3個(gè)總體目標(biāo)。

首先,在圓晶送至封裝加工廠以前,辨別出及格的集成ic。其次,元器件電源電路的極性主要參數(shù)開展特點(diǎn)評定。技術(shù)工程師們必須檢測主要參數(shù)的遍布情況來維持加工工藝的品質(zhì)水準(zhǔn)。最后,集成ic的合格品與欠佳品的結(jié)轉(zhuǎn)會(huì)給圓晶生產(chǎn)制造工作人員出示全方位銷售業(yè)績的意見反饋。及格集成ic與欠佳品在圓晶上的部位在電子計(jì)算機(jī)以圓晶圖的方式記下來。過去的老式技術(shù)性在欠佳品集成ic上涂下一個(gè)墨點(diǎn)。圓晶測試標(biāo)準(zhǔn),其包含下列流程:
 
將一大批圓晶放進(jìn)測試機(jī)臺(tái)中開展檢測,當(dāng)?shù)谝黄瑘A晶剛開始檢測時(shí)上述測試機(jī)臺(tái)的倒計(jì)時(shí)設(shè)備剛開始倒計(jì)時(shí);當(dāng)上述倒計(jì)時(shí)設(shè)備倒計(jì)時(shí)的時(shí)間超出一預(yù)訂時(shí)間閥值時(shí),上述測試機(jī)臺(tái)的操縱模塊推送一警報(bào)信息內(nèi)容至一警報(bào)系統(tǒng),上述警報(bào)系統(tǒng)依據(jù)上述警報(bào)信息內(nèi)容警報(bào)。能選的,上述預(yù)訂時(shí)間閥值依據(jù)上述測試機(jī)臺(tái)中的檢測程序開展設(shè)置,相同檢測程序設(shè)定相同預(yù)訂時(shí)間閥值。
 
上述預(yù)訂時(shí)間閥值超過每塊圓晶檢測需要的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間與當(dāng)今檢測片數(shù)的乘積,上述每塊圓晶檢測需要的標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間依據(jù)選用與本批號圓晶相同檢測程序且完成檢測的其他批號圓晶的一切正常檢測紀(jì)錄得到。
 
圓晶測試標(biāo)準(zhǔn),是根據(jù)一預(yù)訂的時(shí)間閥值判斷檢測是不是一切正常,當(dāng)機(jī)器設(shè)備檢測因發(fā)現(xiàn)異常而中斷時(shí),其檢測時(shí)間一定會(huì)超出預(yù)訂的時(shí)間閥值。這時(shí),上述測試機(jī)臺(tái)操縱模塊將推送一警報(bào)信息內(nèi)容至上述警報(bào)系統(tǒng),上述警報(bào)系統(tǒng)依據(jù)上述警報(bào)信息內(nèi)容警報(bào),這般,技術(shù)工程師就可以立即對出現(xiàn)異常開展解決,進(jìn)而防止了機(jī)器設(shè)備檢測因出現(xiàn)異常而中斷但技術(shù)工程師無法發(fā)覺的難題,從而防止了生產(chǎn)能力的奢侈浪費(fèi)。
 
落實(shí)措施方法
 
下列融合圖下和落實(shí)措施例對本產(chǎn)品明確提出的圓晶測試標(biāo)準(zhǔn)開展詳細(xì)描述。依據(jù)下邊表明和權(quán)利要求書,本產(chǎn)品的優(yōu)勢和特點(diǎn)將更清晰。需表明的是,圖下均選用十分簡單化的方式且均應(yīng)用非精確的占比,僅用于便捷、明確地輔助表明本產(chǎn)品執(zhí)行例的目地。
 
圓晶測試標(biāo)準(zhǔn),其包含下列流程:
一:將一大批圓晶放進(jìn)測試機(jī)臺(tái)中開展檢測;
二:當(dāng)?shù)谝黄瑘A晶剛開始檢測時(shí)上述測試機(jī)臺(tái)的倒計(jì)時(shí)設(shè)備剛開始倒計(jì)時(shí);
三:當(dāng)上述倒計(jì)時(shí)設(shè)備倒計(jì)時(shí)的時(shí)間超出一預(yù)訂時(shí)間閥值時(shí),上述測試機(jī)臺(tái)的操縱模塊推送一警報(bào)信息內(nèi)容至一警報(bào)系統(tǒng),上述警報(bào)系統(tǒng)依據(jù)上述警報(bào)信息內(nèi)容警報(bào)。
 

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